| Plaats van herkomst: | China |
|---|---|
| Merknaam: | BAXIT |
| Certificering: | CE |
| Modelnummer: | Bxt-MPCVD |
| Min. bestelaantal: | 1 (Min. Orde) |
| Prijs: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| Levertijd: | 5-8WORK DAGEN |
| Betalingscondities: | L/C, T/T, D/A, D/P |
| Levering vermogen: | 5 |
| Werkende frequentie: | 2450MHz | Outputmacht: | 0,1 ~ 6 onophoudelijk regelbare kW |
|---|---|---|---|
| Machtsstabiliteit: | dan beter ±1% (@ geschatte status) | De interface van de outputgolfgeleider: | BJ-26/22 met f-d-26/22 standaardflens |
| Machtsinput: | 380VAC/50Hz, driefasen 5 draad, 11kW | Het koelen waterstroom: | 18L/min |
| Coëfficiënt van de systeem de bevindende golf: | VSWR ≤ 1,5 | Microgolflekkage: | voldoe aan de nationale normen |
| Grootte en het werk wijze: | Φ200 x 300 (h) TM wijze |
| Microgolfgenerator en systeem | Werkende frequentie | 2450MHz |
| Outputmacht | 0,1 ~ 6 onophoudelijk regelbare kW | |
| Machtsstabiliteit | dan beter ±1% (@ geschatte status) | |
| De interface van de outputgolfgeleider | BJ-26/22 met f-d-26/22 standaardflens | |
| Machtsinput | 380VAC/50Hz, driefasen 5 draad, 11kW | |
| Het koelen waterstroom | 18L/min | |
| Coëfficiënt van de systeem de bevindende golf | VSWR ≤ 1,5 | |
| Microgolflekkage | voldoe aan de nationale normen | |
| Kamer van de microgolf de vacuümlossing | Grootte en het werk wijze | Φ200 x 300 (h) TM wijze |
| Efficiënt depositogebied | Φ50mm | |
| De waaier van de drukcontrole | 0.5KPa~30KPa | |
| De nauwkeurigheid van de drukcontrole | ±15Pa | |
| Vacuümaanwinst | De enig kristalgroei | groeipercentage van 10-15μm/H, enige de groeidikte ≥ 1.6mm |
| Enig kristalkwaliteit | geen bijna tekorten onder bloot oog | |
| Vacuümsysteem | Uitbarstingswijze | vul met N2 |
| Uiteindelijke vacuümgraad | betere than8×10-4Pa | |
| Vacuümlekkagetarief | ≤10-9pA.m3/s | |
| Drukstijging | stijging van de 24 uren is de gemiddelde druk minder than1Pa/H |
| De stroomsysteem van de gasmassa | Nauwkeurigheid | 2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa |
| Gastype en waaier | H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM) | |
| Het systeem van het steekproefstadium | De diameter van het steekproefstadium | Met water gekoelde Φ60mm; |
| Aanpassingswaaier van steekproef lijst |
0~15mm | |
| De aanpassingswaaier van de holteplaat | 0~60mm | |
| De meting van de substraattemperatuur | infrarode temperatuurmeting waaier |
600~1200℃ (Infrarode temperatuurmeting) |
| De precisie van de temperatuurcontrole | temperatuurcontrole precision±5℃; | |
| Controlewaaier van constant temperatuurgebied | temperatuurverschil van elk punt van molybdeen platform≤30℃ | |
| Apparateninterface | Inham en afzetwater | G1 " buitendraad |
| Gasverbinding | 1/4 " video buitendraad | |
| De interface van de uitlaatlossing | 3/4 " buitendraad | |
| Machtslijn | TB4506 | |
| Isolatieweerstand | ≥5MΩ | |
| Betrouwbaarheid | de ononderbroken en stabiele werktijd in de normale omstandigheden zal niet minder dan 24H zijn | |
| Totale voeding | 380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW | |
| Totaal koelwater | 34L/min, schoon zacht water, de temperatuur van het inhamwater is 20℃±5℃; De waterdruk is 0.2~0.4MPa | |
| Afmetingen | ~1.95 (L) x0.8 (W) x1.90 (H) m | |
